空分过程气分析系统的原理主要有化学电池法、原电池法、燃料电池法、赫兹电池法和浓差电池法。而在进行微量氧分析时，由于空气中氧含量高达21%，所以如果处理不当易造成对样品的污染和干扰，出现分析结果数据不正常。
空分过程气分析系统采用电子流量控制，无堵塞现象全中文人机对话菜单，操作直观方便，液晶显示，可同时显示氧含量、流量、日期、时间，仪器内部温度等参数，定时自动存储功能，可随时查看存储数据，连续采样法的特点是采用不同测量方法，由采样预处理系统和分析仪表两部分组成，采样探头将被测气体从烟道或管道中引出并进行预处理后，连续送入仪器的气体室中，通过不同的方法完成气体浓度的测量。传感器可以非常稳定可靠的工作很长时间。燃料电池氧传感器是*免维护的。但是在使用过程中，需要经常校准，确保其测试的准确性。
在实际测量中，样气压力一般都为正压，但样气中的氧是微量级的，根据法拉利定律，氧的分压与其体积含量成正比，环境空气中氧含量约21%，与以PPM计算浓度的样气的氧分压相差一万倍左右，因而气样中微量氧的分压远低于大气中的氧分压，当出现泄漏时，大气中的氧便会从泄漏部位迅速扩散进来。
其检测的就是ppm级别的氧含量，因此配套管线必须严格密封，非常微小的管线泄漏（管线连接点、接头等）都会导致环境空气中的氧扩散进来，造成实际测量数值偏高。
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